Máy phân tích thành phần nguyên tố RIGAKU ZSX Primus 400

Tổng quan:

Máy phân tích thành phần Rigaku ZSX Primus 400 là thiết bị phân tích nguyên tố chất rắn, chất lỏng, bột, hợp kim và màng mỏng

Máy quang phổ huỳnh quang tia X phân tán bước sóng tuần tự ZSX Primus 400 (WD-XRF) độc đáo của Rigaku được thiết kế đặc biệt để xử lý các mẫu rất lớn và/hoặc nặng. Chấp nhận các mẫu có đường kính lên tới 400 mm, dày 50 mm và khối lượng 30 kg, hệ thống này lý tưởng để phân tích các mục tiêu phún xạ, đĩa từ hoặc để đo lường màng nhiều lớp hoặc phân tích nguyên tố của các mẫu lớn.

Tính năng:

XRF với hệ thống bộ chuyển đổi mẫu tùy chỉnh

Có tính linh hoạt để thích ứng với các loại mẫu cụ thể và nhu cầu phân tích của bạn, máy quang phổ WDXRF này có thể thích ứng với các kích cỡ và hình dạng mẫu khác nhau bằng cách sử dụng các bộ chuyển đổi tùy chọn (được đặt hàng). Với điểm đo có thể thay đổi (đường kính 30 mm đến 0,5 mm, với lựa chọn tự động 5 bước) và khả năng lập bản đồ với các phép đo đa điểm để kiểm tra tính đồng nhất của mẫu, thiết bị linh hoạt độc đáo này có thể hợp lý hóa đáng kể quy trình kiểm soát chất lượng của bạn.

XRF với camera có sẵn và ánh sáng đặc biệt

Camera thời gian thực tùy chọn cho phép xem khu vực phân tích trong phần mềm. Người vận hành hoàn toàn chắc chắn về những gì đang được đo.

Khả năng phân tích WDXRF truyền thống

Tất cả khả năng phân tích của một thiết bị truyền thống đều được giữ lại trong biến thể "mẫu lớn" này. Phân tích berili (Be) qua uranium (U) bằng phương pháp quang phổ WDXRF có độ phân giải, độ chính xác cao, từ chất rắn đến chất lỏng và bột đến màng mỏng. Phân tích phạm vi thành phần rộng (ppm đến hàng chục phần trăm) và độ dày (phụ Å đến mm). Tùy chọn có sẵn là loại bỏ nhiễu đỉnh nhiễu xạ, để mang lại kết quả tối ưu cho chất nền đơn tinh thể. Máy quang phổ huỳnh quang tia X phân tán bước sóng Rigaku ZSX Primus 400 (WD-XRF) tuân thủ các tiêu chuẩn ngành SEMI và CE.

Các tính năng nổi bật:

Nhiều bộ chuyển đổi mẫu dành cho các mẫu có đường kính lớn, các mẫu có hình dạng không đều và nhiều mẫu

Có thể đo được các mẫu có kích thước lên tới φ400mm x 50mm. Không cần phải xử lý các mẫu quý giá thành kích thước nhỏ hơn. Chúng tôi cũng cung cấp các bộ chuyển đổi mẫu có thể đặt nhiều mẫu cùng lúc và các bộ chuyển đổi mẫu có thể chứa các mẫu có hình dạng bất thường.

Các phần tử đo được Be~U

Cơ chế kiểm soát độ chân không độc đáo APC (Điều khiển áp suất tự động) ổn định mức độ chân không trong phần đo, giúp có thể đo các phần tử nhẹ bao gồm các phần tử siêu nhẹ với độ chính xác cao.

Phân tích ánh xạ điểm với hệ thống phân tán bước sóng

Thông qua giai đoạn mẫu điều khiển r-θ. Trong khi xác nhận khu vực phân tích bằng camera có độ chính xác cao tích hợp (5 triệu pixel), có thể tận dụng độ phân giải quang phổ tuyệt vời của phương pháp phân tán bước sóng để thực hiện các phép đo ánh xạ điểm chính xác với độ phân giải vị trí ánh xạ 100 micromet , ngay cả đối với các phần tử siêu nhẹ. .

Phần mềm hướng dẫn ZSX

Đây là phần mềm thân thiện với người mới bắt đầu, cho phép bạn thực hiện phân tích nâng cao bằng màn hình trực quan. Bí quyết liên quan đến công nghệ phân tích tia X huỳnh quang được tích hợp vào nhiều lĩnh vực khác nhau, bao gồm các chương trình đánh giá hỗ trợ tạo ra các ứng dụng định lượng.

Phòng ngừa lỗi của con người

ZSX Gudance có tính năng ngăn ngừa lỗi của con người cho phép bạn đặt cấp độ truy cập phần mềm cho từng người vận hành, cho phép mọi người thực hiện phép đo bằng màn hình thao tác dễ sử dụng.

Bảo vệ quang học

ZSX Primus 400 là máy phân tích huỳnh quang tia X chiếu sáng đáy, trong đó hệ thống quang học từ ống tia X đến máy dò được đặt bên dưới mẫu được đo. Để tránh làm hỏng hệ thống quang học ngay cả khi mẫu rơi trong quá trình đo, bộ lọc berili được đặt giữa mẫu và ống tia X để bảo vệ ống tia X và một màng bảo vệ được đặt giữa mẫu và ống chuẩn trực.

Đặc trưng:

• Phân tích mẫu lớn
  • Lên đến 400 mm (đường kính)
  • Lên đến 50 mm (độ dày)
  • Lên tới 30 kg (khối lượng)
• Hệ thống bộ chuyển đổi mẫu
  • Thích ứng với nhiều cỡ mẫu khác nhau
• Điểm đo
  • Đường kính 30 mm đến 0,5 mm
  • Lựa chọn tự động 5 bước
• Khả năng lập bản đồ
  • Cho phép đo đa điểm
• Camera xem mẫu (tùy chọn)
• Mục đích chung
  • Phân tích Be - U
  • Phạm vi nguyên tố: ppm đến %
  • Phạm vi độ dày: phụ Å đến mm
• Loại bỏ nhiễu xạ (tùy chọn)
  • Kết quả chính xác cho chất nền đơn tinh thể
• Tuân thủ các tiêu chuẩn ngành
  • Dấu SEMI, CE
• Dấu chân nhỏ
  • Diện tích 50% của mô hình trước đó

Ứng dụng ZSX Primus 400

• Thành phần mục tiêu phún xạ
• Phim cách ly: SiO 2 , BPSG, PSG, AsSG, Si₃N₄, SiOF, SiON, v.v.
• Phim high-k và sắt-điện môi: PZT, BST, SBT, Ta₂O₅, HfSiOx
• Màng kim loại: Al-Cu-Si, W, TiW, Co, TiN, TaN, Ta-Al, Ir, Pt, Ru, Au, Ni, v.v.
• Màng điện cực: poly-Si pha tạp (tạp chất: B, N, O, P, As), Si vô định hình, WSix, Pt, v.v.
• Các màng pha tạp khác (As, P), khí trơ bị giữ lại (Ne, Ar, Kr, v.v.), C (DLC)
• Màng mỏng sắt điện, FRAM, MRAM, GMR, TMR; PCM, GST, GeTe
• Thành phần vết hàn: SnAg, SnAgCuNi
• MEMS: độ dày và thành phần của ZnO, AlN, PZT
• Quy trình thiết bị SAW: độ dày và thành phần của AlN, ZnO, ZnS, SiO 2 (màng áp điện); Al, AlCu, AlSc, AlTi (màng điện cực)

Phụ kiện ZSX Primus 400

• Camera mẫu với ánh sáng đặc biệt cho phép xem điểm phân tích trên màn hình
• Loại bỏ nhiễu xạ mang lại kết quả chính xác cho chất nền đơn tinh thể
• Phần mềm thông số cơ bản để phân tích màng mỏng

CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ CÔNG NGHỆ NĂNG LỰC là Đại lý ủy quyền chính thức của RIGAKU tại Việt Nam trong việc phân phối các Thiết bị phân tích thành phần nguyên tố chính hãng tại Việt Nam, có Giấy chứng nhận ủy quyền của hãng RIGAKU cấp.